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翁開(kāi)爾(北京)科技有限公司

臭氧水處理系統(tǒng)PAP-SC-200

  • 型號(hào):

    PAP-SC-200

  • 簡(jiǎn)介:

    用于水處理和水消毒的氧化系統(tǒng)

  • 品牌:

    Anseros 安索羅斯

  • 產(chǎn)地:

    德國(guó)

詢價(jià)單

應(yīng)用

IMEC和RCA清潔流程

UPW系統(tǒng)

高級(jí)氧化工藝AOP

三相系統(tǒng)

生物降解DOC

滅菌

消毒CIP

產(chǎn)品介紹

特別是在半導(dǎo)體加工中,需要完全清潔的臭氧系統(tǒng)。在處理過(guò)程中從臭氧系統(tǒng)發(fā)射到半導(dǎo)體表面的任何金屬和顆粒(Wafer/IMIC/RCA/SOM等)都會(huì)影響芯片的質(zhì)量。包括其組件——例如臭氧發(fā)生器COM-AD或臭氧監(jiān)測(cè)器WM——在內(nèi),Anseros的PAP-SC系統(tǒng)完全不含與臭氧接觸的金屬。無(wú)論是否有酸,它們都可以進(jìn)行清潔的濕法和干法加工。為了確保安全,PAP-SC系統(tǒng)包括一個(gè)CAT-HO臭氧破壞器。

技術(shù)參數(shù)

氣體流量:100 - 1000 Nl/h

O3:100 - 300 g O3/m3

與臭氧接觸的材料:PFA、石英

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